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特种气体管道的施工

施工管理和现场施工的几个注意点

项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训，了解特种管道的施工作业要求和规范，了解特种气体的基本知识，从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工.

特种气体系统的设计与施工

供气系统的选择

简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。

惰性气体瓶架则采用全手动系统，电子特种气体要多少钱，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，哪里有特种气体厂，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

特种气体系统：

主管路系统的设计

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，武汉特种气体，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精1确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧1毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，特种气体公司哪家好，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。后管道还要有良好的接地。

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